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真空蝶閥
功能真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源，節省系統與蝶閥間複雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外，更首創加入流量控制器的操作來調節壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩定
產品功能
真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源，節省系統與蝶閥間複雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外，更首創加入流量控制器的操作來調節壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩定系統壓力
產品特色
ISO63~ ISO160管徑
具備壓力與角度控制模式
具備蝶閥本體與控制器
內部提供壓力計電源
可操作流量控制器調節壓力
具備壓力異常警告
應用產業
鍍膜產業
光電半導體產業
相關真空製程領域
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