脈衝直流電漿電源供應器

產品功能

應用於低壓鍍膜電漿設備

 

產品特色

微處理器控制

可設定的非對稱電壓輸出

具定電壓、定功率，定電流模式選擇

具減弧及電弧抑制

可應用於不同靶材鍍膜，如鎳、銅、鋁、鈦等

輸出頻率可調整

全自動且容易操作

設備穩定高，容易維護

可依客戶需求作更改

 

應用產業

鍍膜產業

半導體產業

光電產業

太陽能產業