產品功能：
適用於太陽能電池製程，對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色：
．專利設計之特殊電漿電極
．高密度電漿源
．處理速度快、產能高、可靠度高
．操作範圍廣
．全自動且容易操作
．設備穩定度高，容易維護
．可依客戶需求作更改
應用產業：
．太陽能電池
．太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
檔案下載：
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Specifications Interf
