功能
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
特色
．高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間
．專利設計之特殊電漿電極
．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
．處理之均勻性佳
．電漿均勻性佳
．可使用多種製程氣體
．全自動且容易操作
．設備穩定高，容易維護
．可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台
應用產業
．PCB、FPC
．印刷或黏著前之表面粗化或清潔
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